发明名称 POLISHING DEVICE FOR COLUMNAR MEMBER AND POLISHING METHOD THEREFOR
摘要 경취 재료로 이루어진 원기둥 형상의 표층부에 존재하는 미소한 균열을 제거하는 고연마 능력과 표면의 요철을 제거하여 표면 조도를 미세화하는 미세 연마 능력을 구비한 염가의 연마 장치와 그 연마 방법을 제공한다. 피가공물의 회전 수단에 연결하며, 상기 피가공물의 양단면을 끼움 지지하는 클램프 수단과, 상기 가공면에 연마구의 선단이 접촉 회전하면서 연마 가공하는 연마 수단과, 상기 피가공물에 대해 상기 연마 수단을, 상기 피가공물의 단면 방향과 직교하는 길이 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 수단과, 연마 가공 전에 검출한 상기 피가공물의 가공면의 높이 위치를 기억시키는 높이 위치 검출 수단과, 상기 위치 검출 수단에 의해 기억된 높이 위치와 상기 연마 수단의 선단의 절삭량을 연산 처리하여 연마 가공을 행하도록 하는 제어 수단을 구비하고 있다.
申请公布号 KR101601007(B1) 申请公布日期 2016.03.08
申请号 KR20127007438 申请日期 2010.10.13
申请人 신토고교 가부시키가이샤 发明人 타나하시, 시게루;노다, 야스오
分类号 B24B5/04;B24B5/37;B24B5/50;H01L21/304 主分类号 B24B5/04
代理机构 代理人
主权项
地址