| 摘要 |
본 발명은 파워 사이클 시험 후의 열저항의 측정 작업을 불필요로 하고, 또한 스트레스 전류를 자동 조정하여 고정밀도로 열스트레스를 인가하며, IGBT의 신뢰성 평가 작업의 능률화를 도모한다. 본 파워 사이클 시험 장치는, 시험용 IGBT에 스트레스 전류를 단속 인가하여 열스트레스를 부여함으로써, 상기 시험용 IGBT의 파워 사이클 시험을 행하는 파워 사이클 시험 장치로서, 상기 시험용 IGBT에 상기 스트레스 전류를 인가하며, 그 후, 상기 시험용 IGBT에 측정용 전류를 인가하여, 상기 시험용 IGBT의 컬렉터-이미터 사이의 전압을 측정하고, 상기 측정된 상기 시험용 IGBT의 컬렉터-이미터 사이의 전압과, 상기 시험용 IGBT의 온도 계수로부터, 상기 시험용 IGBT의 접합부 온도를 연산한다. |
