| 发明名称 |
寄生容量が低減されたＭＥＭＳマイクロフォン |
| 摘要 |
A MEMS microphone with reduced parasitic capacitance is provided. A microphone includes a protection film covering a rim-sided area of the backplate. |
| 申请公布号 |
JP5877907(B2) |
申请公布日期 |
2016.03.08 |
| 申请号 |
JP20140540330 |
申请日期 |
2011.11.14 |
| 申请人 |
エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥＰＣＯＳ ＡＧ |
发明人 |
ヨハンセン， レイフ， スティーン;ラフンキルデ， ヤン トゥ;ロンバッハ， ピルミン;ラスムッセン， カート |
| 分类号 |
H04R19/04;H01L29/84;H04R31/00 |
主分类号 |
H04R19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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