| 发明名称 |
SPIN-ON COMPOSITIONS OF SOLUBLE METAL OXIDE CARBOXYLATES AND METHODS OF THEIR USE |
| 摘要 |
본 개시는 적어도 하나의 금속 산화물 디카르복실레이트 및 금속 산화물 디카르복실레이트가 용해가능하거나 콜로이드적으로 안정한 유기 용매를 함유하는 스핀-온 조성물에 관한 것이다. 디카르복실레이트는 열처리 동안 분해되어 경화된 금속 산화물 필름을 생성할 수 있다. 본 개시는 또한 스핀-온 조성물을 이용하는 방법에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160025508(A) |
申请公布日期 |
2016.03.08 |
| 申请号 |
KR20157035429 |
申请日期 |
2014.06.26 |
| 申请人 |
AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L. |
发明人 |
RAHMAN M. DALIL;CHADA VENKATA GOPAL REDDY;YAO HUIRONG;ANYADIEGWU CLEMENT;MCKENZIE DOUGLAS |
| 分类号 |
G03F7/09;C23C18/06;C23C18/12;C23C18/14;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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