- IMPLEMENTATION OF CO-GASES FOR GERMANIUM AND BORON ION IMPLANTS

摘要

이온 소스의 성능을 개선하고 수명을 연장하기 위한 이온 주입 시스템이 설명된다. 불소 함유 도펀트 가스 소스는 하나 또는 그 초과의 co-가스들과 함께 이온 챔버 내로 도입된다. 하나 또는 그 초과의 co-가스들은 수소 또는 크립톤을 포함할 수 있다. co-가스들은 이온 소스 챔버 내의 자유 라디칼 이온들에 의한 유발되는 효과들을 경감시켜 이온 소스 고장을 유도한다.