发明名称 GRAPHITE FILM PREPARING METHOD THEREOF AND PELLICLE INCLUDING THE SAME
摘要 본원은 흑연 박막, 상기 흑연 박막의 제조 방법, 및 상기 흑연 박막을 포함하는 펠리클에 관한 것이다.
申请公布号 KR101600397(B1) 申请公布日期 2016.03.07
申请号 KR20140041855 申请日期 2014.04.08
申请人 성균관대학교산학협력단 发明人 유지범;김슬기
分类号 C01B31/04 主分类号 C01B31/04
代理机构 代理人
主权项
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