Multi-photonic annealing and sintering of semiconductor oxide using intense pulsed white light near infrared ray and deep ultraviolet

摘要

본 발명은 반도체 산화물 잉크를 극단파 백색광, 근적외선 및 원자외선을 이용한 복합 광원으로 광소결하는 방법에 관한 것으로 스트론튬 티타늄 옥사이드(SrTiO), 바륨 티타늄 옥사이드(BaTiO) 또는 이들의 혼합물 중에서 선택되는 반도체 산화물 및 분산안정제를 포함하는 복합 광 소결용 반도체 산화물 잉크를 상온 및 대기 조건과 1 내지 100 ms 이내의 짧은 시간에 선택적 또는 대면적으로 어닐링 및 소결할 수 있다.