Apparatus and Method for Aligning Wafer

摘要

실시예는 웨이퍼 정렬 장치에 관한 것으로서, 실시예는 웨이퍼를 회전시키는 회전체와, 회전체로부터 연장된 암을 갖고, 웨이퍼를 안착시키는 웨이퍼 안착부와, 웨이퍼 안착부에 안착된 웨이퍼의 외곽을 바라보며 배치되어 노치를 인식하는 노치 인식부와, 노치 인식부와 이격되고, 웨이퍼의 외곽을 바라보며 배치되어 웨이퍼의 마크를 인식하는 마크 인식부를 포함한다.