| 摘要 |
残留ガスアナライザ（ＲＧＡ）における検出器は、ビームラインに沿って下流方向に移動するイオンを受け入れるように構成され、ビームラインからオフセットして配置されたステアリング電極を含む。第１のイオン受入電極はビームラインに対してステアリング電極の反対側に少なくとも部分的にある。第２のイオン受入電極は、ビームラインから少なくとも部分的にオフセットして配置され、ステアリング電極の少なくとも一部からビームラインを介して向かい側に少なくとも部分的に配置され、かつステアリング電極の少なくとも一部の上流に少なくとも部分的に配置されている。シールド電極はビームラインと第２のイオン受入電極との間に少なくとも部分的に配置されている。ソースはシールド電極に電位を印加する。残留ガスアナライザ（ＲＧＡ）は、イオンソース、アナライザ部、及び上記したような検出器を含んでいる。【選択図】図６ |
