| 摘要 |
본 발명은 가스 공급 라인과 가스 장치의 소형화를 더욱 도모함과 아울러 각 기기류의 보수 관리를 보다 용이하게 행할 수 있도록 한다. 본 발명은 가스 입구측 블록과 가스 출구측 블록과 복수의 유체 제어 기기에 의해 공급 라인이 형성된 공급 장치에 있어서, 상기 가스 공급 장치에는 적어도 2개의 가스 공급 라인이 형성되고, 각 가스 공급 라인의 상기 유체 제어 기기는 적어도 1개의 유량 제어기를 포함하고, 상기 입구측 블록에 대하여 한쪽 가스 공급 라인의 유량 제어기의 입구측 블록과 다른쪽 가스 공급 라인의 유량 제어기의 입구측 블록이 대향 형상으로 접속되고, 상기 가스 출구측 블록에 대하여 한쪽 유량 제어기의 출구측 블록과 다른쪽 유량 제어기의 출구측 블록이 대향 형상으로 접속된다. |
