| 摘要 |
본 발명에 따른, 펄스 레이저 비임(2)에 의해 특히 투명 공작물(2)을 융삭하는 방법은, a) 표면 경로(4)를 따라 공작물 표면(3)에 걸쳐 펄스 레이저 비임(2)을 이동시켜 상기 공작물 표면(3)을 전처리하는 단계로서, 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 경로 방향(5)에서 공작물 표면(3) 상에 제1 펄스 오버랩(6)을 갖도록 하는, 전처리 단계; 및 b) 표면 경로(4)를 따라 공작물 표면(3)에 걸쳐 펄스 레이저 비임(2)을 복수 회 이동시킴으로써 공작물 표면(2)을 융제(ablating)하는 단계로서, 펄스 레이저 비임(2)의 연속한 레이저 펄스(2', 2")들이 경로 방향(5)에서 공작물 표면(5) 상에 상기 제1 펄스 오버랩(6)보다 작은 제2 펄스 오버랩(6)을 갖도록 하는, 융제 단계를 포함한다. |
