| 摘要 |
노광 장치는 기판 상의 레지스트를 광학계를 통해 노광시킨다. 상기 노광 장치는, 상기 기판을 보유하여 노광 위치에 상기 기판을 위치 결정하도록 구성된 테이블; 상기 기판 상에 형성된 얼라인먼트 마크로부터 레지스트 표면까지의 거리와 상기 레지스트 표면의 기울기를 취득하도록 구성된 취득 유닛; 및 상기 레지스트 표면의 기울기를 저감하기 위해, 상기 테이블의 기울기를 보정할 때 발생하는 노광 위치의 시프트를 보정하기 위한 보정값을 상기 거리와 상기 기울기를 이용하여 산출하고, 상기 보정값에 따라 상기 테이블의 위치를 제어하는 제어 유닛을 포함한다. |
