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Eine Elektrodenträgereinrichtung (100) zur Halterung von mehreren, zueinander isolierten Elektroden (1, 2, 3, ...) einer elektronen-optischen Linse (200) umfasst ein plattenförmiges Trägerelement (10) aus einem Isolatormaterial, das sich entlang einer radialen Hauptebene erstreckt und eine Vorderseite (11), eine Rückseite (12) und eine Durchgangsbohrung aufweist, wobei die Durchgangsbohrung in einer Axialrichtung senkrecht zur radialen Hauptebene verläuft und zum Durchgang der optischen Achse (OA) der elektronen-optischen Linse (200) ausgelegt ist, und mindestens zwei vordere Elektrodenhalterungen, die jeweils zur Positionierung von einer der Elektroden (1, 2, 3, ...) auf der Vorderseite (11) des Trägerelements (10) angeordnet sind und verschiedene radiale Abstände von der Durchgangsbohrung aufweisen, wobei jede vordere Elektrodenhalterung einen Axialanschlag (21, 31), der sich parallel zur radialen Hauptebene erstreckt und zur Positionierung einer Elektrode in der Axialrichtung angeordnet ist, und einen Radialanschlag (22, 32) umfasst, der sich parallel zur Axialrichtung erstreckt und zur Positionierung der Elektrode senkrecht zur Axialrichtung angeordnet ist. Es wird auch eine elektronen-optische Linse (200) beschrieben, welche die Elektrodenträgereinrichtung (100) und eine Vielzahl von Elektroden (1, 2, 3, ...) umfasst, die an den Elektrodenhalterungen fixiert sind. |
