ウェハー処理システムにおいてウェハーアクセスを行うシステム及び方法

摘要

ウェハー処理システムにおいてウェハーアクセスを行うシステム及び方法を本明細書に開示する。これらの方法は、第１ウェハーカセットをウェハー処理システム上に結合するステップ、及びウェハー処理システムにより、選択したウェハーを第１ウェハーカセットから除去するステップを含むことができる。これらの方法は、ウェハー処理システムにより、選択したウェハーに対して処理動作を実行するステップ、及びこの処理動作を実行している間に、第１ウェハーカセットをウェハー処理システムから除去するステップを、さらに含むことができる。これらの方法は、第２ウェハーカセット（第１ウェハーカセットと同じでも異なってもよい）をウェハー処理システム上に結合するステップ、ウェハー処理システムにより、第２ウェハーカセット内のウェハー収容状況を調べるステップ、及び／または、その後に、選択したウェハーを第２ウェハーカセット内に配置するステップを含むこともできる。上記システムは、上記方法の少なくとも一部分を実行するようにプログラムされた制御装置を含むウェハー処理システムを含むことができる。