蒸镀掩模板及其制作方法

摘要

本发明涉及一种用于蒸镀的掩模板包括主图形区域、辅助图形区域和半刻线，半刻线为四边凹槽，且半刻线的刻蚀深度h是掩模板厚度H的40%-60%；半刻线的线径≤2mm。本发明涉及的掩模板及其制作方法，在去除辅助图形时，不需要其他辅助工具，就能成功的将辅助图形从主图形区域剥离，且剥离质量高；剥离后的掩模板外边框边缘整齐光滑无毛刺，外边框对位时不会导致位置偏差；还不会破坏掩模框架，可提高蒸镀质量。

主权项

一种蒸镀掩模板，包括：主图形区域，具有满足蒸镀要求的开口，主图形开口尺寸在30‑180μm的范围内；辅助图形区域，用于提供拉力的施力点；其特征在于，掩模板还具有半刻线，半刻线一边连接主图形区域，一边连接辅助图形区域。