| 发明名称 | 一种真空镀膜机 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种真空镀膜机，属于机械技术领域。它解决了现有的真空镀膜机产能不高的问题。本真空镀膜机，包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统，真空罩内设置有伞架和蒸发源，伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架，工件架分别与转盘通过各自转轴一相连，工件架沿转盘周向呈伞状分布，本真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴一的中心线转动的驱动机构。本真空镀膜机伞架采用工件架沿转盘周向呈伞状分布的结构，减少了伞架占用的空间，增大了工件架对蒸发材料的接受面积，工件架上的正反两面均能装载待镀膜工件，增加了工件架的装载数量。本真空镀膜机的产量更高，经济效益更好。 | ||
| 申请公布号 | CN103590005B | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201310574306.3 | 申请日期 | 2013.11.15 |
| 申请人 | 浙江星星瑞金科技股份有限公司 | 发明人 | 王先玉;夏永光 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 台州市方圆专利事务所(普通合伙) 33107 | 代理人 | 蔡正保;朱新颖 |
| 主权项 | 一种真空镀膜机，包括真空罩(1)和用于使真空罩(1)内部保持真空状态的真空系统，所述真空罩(1)内设置有伞架(2)和蒸发源(3)，其特征在于，所述伞架(2)包括能够周向转动的转盘(21)和若干个工件架(22)，所述工件架(22)分别与转盘(21)通过各自转轴一(4)相连，所述转盘(21)上具有供转轴一(4)穿过的安装孔，转轴一(4)分别装入对应的安装孔，所述工件架(22)沿转盘(21)周向呈伞状分布，本真空镀膜机还包括能使工件架(22)随着转盘(21)周向转动的同时绕转轴一(4)的中心线转动的驱动机构，所述真空罩(1)还设置有支架(11)，上述支架(11)与真空罩(1)轴向和径向定位并能够绕所述转盘(21)中心线转动，所述工件架(22)的底部分别可拆连接于所述支架(11)上，所述支架(11)与工件架(22)对应的位置具有让位开口(111)。 | ||
| 地址 | 318015 浙江省台州市椒江区洪家星星电子产业基地4号楼 | ||