一种光斑形状检测装置

摘要

一种光斑形状检测装置，包括沿光路依次设置的激光器，扩束器，光阑和光探测器，扩束器对激光器发出的激光束进行各方向上等比例扩束，所述光阑的设置有长方形狭缝，所述狭缝的宽度大于引起激光器衍射的宽度，所述光探测器为二维长方形结构，其大小不小于长方形狭缝的大小，所述光阑和光探测器设置在可移动的支架上，光阑和光探测器的相对位置不会发生变化，通过支架的移动完成对扩束后激光束的扫描。

主权项

一种光斑形状检测装置，其特征在于：包括沿光路依次设置的激光器，扩束器，光阑和光探测器，扩束器对激光器发出的激光束进行各方向上等比例扩束，所述光阑的中央设置有长方形狭缝，所述狭缝的宽度大于引起激光器衍射的宽度，所述光探测器为二维长方形结构，其大小不小于长方形狭缝的大小，所述光阑和光探测器设置在可移动的支架上，光阑和光探测器的相对位置不会发生变化，通过支架的移动完成对扩束后激光束的扫描。