VACUUM PUMP

摘要

Eine Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe, umfasst einen Rotor (12) mit einer Rotorwelle (14), einem Stator (16) und einem im Bereich des Pumpeneinlasses (18) vorgesehenen Magnetlagerraum (20), in dem zur drehbaren Unterstützung der Rotorwelle (14) ein Magnetlager (22) angeordnet ist. Dabei umfasst die Vakuumpumpe
Mittel zur Beaufschlagung des Magnetlagerraumes (20) mit einem Sperrgas mit Überdruck. Alternativ oder zusätzlich kann die Vakuumpumpe auch Mittel umfassen, um den Magnetlagerraum unter Nutzung des relativ zum Stator rotierenden Rotors zu evakuieren und/oder abzusperren.