自动化测试和验证电子元件的装置

摘要

一个自动测试装置（ATE）单元，所述单元包括大型交互系统。所述大型交互系统具有一个通用安装台，用于与接收和测试接口模块一起使用，从而以电子方式安装和测试各种不同类型的待测电子元件或单元。本发明提供了基于MEMS技术的安装台测试接口模块，并适于与ATE的接收模块电子耦合。在一个优选的结构中，在测试接口模块中提供高速微测试通道以在待测的元件或单元与芯片级的测试仪之间建立信号连接，并且更优选的是维持完整信号达到50GHz，而没有显着的信号损失失真。

主权项

一种大型交互系统，用于在自动测试装置中使用，所述自动测试装置用于同时检测待测单元的多个电子元件，所述交互系统包括：接收模块，所述接收模块包括一前安装表面，多个接触销，所述接触销被安装在所述安装表面上并从所述安装表面向前延伸，所述接收模块用于电子耦合到一个控制器从而可激活的提供电子信号，所述电子信号在一个选定的试验条件下进行模拟，以选定一个所述接触销，一测试接口模块可定位地邻接于接收模块的前安装表面，所述测试接口模块具有用于支撑在测试位置上的待测单元的支撑表面，所述支撑表面包括多个与相应接触销关联的弹性接触件，所述弹性接触件包括一个导电的输入/输出垫和一个弹性变形偏压部件，当待测单元移动到测试位置时，所述输入/输出垫与所述电子元件中相关联的一个接合，并且所述输入/输出垫在操作位置和静止位置之间可选择性地移动，其特征在于，在所述操作位置中，所述输入/输出垫向后朝向所述安装表面移动从而与相应的所述接触销电接触，在所述静止位置中，所述输入/输出垫从其静止位置向前移动一段间隔开的距离，其中所述弹性变形偏压部件包括一个支撑格架，支撑格架是平整的多边形形状的和弹性可变形的，所述输入/输出垫被安装到所述支撑格架上，并且向所述输入/输出垫提供了一个阈值力使所述输入/输出垫朝向静止位置移动，以及一致动器，所述致动器可选择性地操作在输入/输出垫和相关的电子元件之间实施一大于阈值力的接触压力，从而使所述输入/输出垫移动到操作位置并且在所述电子元件，输入/输出垫及相关接触销之间形成电子连接。