仿形装置

摘要

本发明提供一种可抑制浮起荷重及支承力的下降、以及因热而造成劣化、并且可小型化的仿形装置。沿着轴向观看时，构成仿形装置的装置基台(11)的固定块(12)呈具有长边及短边的矩形形状。将以固定块(12)的为中心且以比固定块(12)的短边长的直线(M)为直径的虚拟圆(C)投影至固定块(12)时，凹状球面(13a)形成于在固定块(12)中由虚拟圆(C)包围的区域。

主权项

一种仿形装置，具有：具有凸状球面的仿形构件；以及具有收容所述凸状球面的凹状球面的装置基台；所述仿形构件受到空气压力而能够从所述装置基台浮起，一边使所述仿形构件沿着所述凹状球面摇动，一边使与所述仿形构件形成为一体化的抵接面抵接至对象物，使所述抵接面平行于对象物的特定面，实施仿形作业，其特征在于，将所述装置基台与所述仿形构件重叠的方向设为仿形装置的轴向时，沿着所述轴向观看时，所述装置基台呈具有长边及短边的矩形形状；从所述轴向向所述装置基台投影了以所述装置基台的中央为中心、且直径比所述装置基台短边长的圆时，所述凹状球面形成在由所述圆包围的所述装置基台的区域。