硅片酸洗减薄机

摘要

本发明涉及一种硅片酸洗减薄机，包括箱体，其特征在于：箱体内支撑有旋转提篮，旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成，圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱，箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座，支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机，伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连，箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。

主权项

一种硅片酸洗减薄机，包括用于盛装混酸液体的箱体，其特征在于：所述箱体内设有支架并利用支架支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，所述旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及对称设于两个圆形固定板外周面上的提手组成，所述圆形固定板、圆柱状围笼和转轴的轴心线重合，所述圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成，所述半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接，所述围笼本体底面最低位置处沿围笼本体长度方向均匀间隔设置多个隔棱，所述箱体外侧一端固定有滑道且所述滑道上方滑动连接有支座，所述支座的水平板面延伸向箱体内顶部且水平板面上固定有倒置的伺服电机，所述伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的其中一侧转轴相连，所述箱体的内侧壁上另固定有调节温度的耐腐蚀循环水管。