一种利用电致发光谱测量氮化物LED内量子效率的方法

摘要

本发明公开了一种测量氮化物LED内量子效率的方法，包括如下步骤：制作多个氮化物LED测试样品，使之自下至上依次为衬底、n型层、有源区、p型层和ITO层；从各测试样品表面到n型层刻蚀出一个台面，在该台面上蒸镀上n电极，在ITO层表面蒸镀p电极，在除电极外四周其它区域蒸镀一层光吸收抑制层，在各测试样品表面中心位置光刻出一定孔径的出光孔；计算测试样品的光提取效率；利用积分球测量各测试样品，获得在不同电流密度下的不同孔径内的光功率；通过光功率计算测试样品的外量子效率，并通过所得到的光提取效率计算内量子效率。本发明能够消除光致发光谱测量内量子效率带来的负面影响。

主权项

一种测量氮化物LED内量子效率的方法，包括如下步骤：S1、制作多个氮化物LED测试样品，所述测试样品自下至上依次为衬底、n型层、有源区、p型层和ITO层；从所述测试样品表面到n型层刻蚀出一个台面，在该台面上蒸镀上n电极，在ITO层表面蒸镀p电极，在除电极外四周其它区域蒸镀一层光吸收抑制层；其中，所述有源区为1～20对GaN/InGaN,AlN/AlGaN,AlGaN/GaN,InGaN/InGaN量子阱；S2、在各所述测试样品表面中心位置光刻出一定孔径的出光孔，各所述测试样品的出光孔孔径不同；S3、计算所述各测试样品的光提取效率；S4、利用积分球测量各所述测试样品，获得在不同电流密度下的不同孔径内的光功率；S5、通过步骤S4测量得到的光功率计算所述测试样品的外量子效率，并通过所得到的光提取效率计算内量子效率。