| 发明名称 | 喷淋装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种喷淋装置，包括数个喷淋单元(1)，每个喷淋单元(1)包括数根喷淋管(11)、及分别安装于每根喷淋管(11)外表面的数个喷嘴(12)，所述数个喷淋单元(1)的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制，并且该喷淋装置中每个喷嘴(12)的喷淋角度可以独立进行控制，从而使得所述数个喷淋单元(1)可以分别进行独立控制，可保证大尺寸基板进行喷淋制程时的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN105366953A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201510866640.5 | 申请日期 | 2015.11.30 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 叶江波 |
| 分类号 | C03C15/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种喷淋装置，其特征在于，包括数个喷淋单元(1)，每个喷淋单元(1)包括数根喷淋管(11)、及分别安装于每根喷淋管(11)外表面的数个喷嘴(12)，从而使得所述数个喷淋单元(1)可以分别进行独立控制。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||