一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器及其制备方法，该驱动器包括：叠层设置的多层织构化陶瓷厚膜，包括分别印刷有层状电极的陶瓷面层、至少一层陶瓷内层和陶瓷底层；贯穿所述陶瓷面层和陶瓷内层的第一通孔；贯穿所述陶瓷内层和陶瓷底层的第二通孔；填充所述第一通孔的第一连接电极；以及填充所述第二通孔的第二连接电极；其中第一通孔和第二通孔分别位于所述织构化陶瓷厚膜的相对两侧，所述陶瓷内层上的层状电极具有条状缝隙，所述条状缝隙位于第一通孔和第二通孔之间，且相邻两层陶瓷内层上的条状缝隙不重叠。这种电极结构省去外端电极，简化了制备工艺、节约成本，同时避免了端电极在驱动器使用过程中容易失效的弊端。

主权项

一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器，其特征在于，包括：叠层设置的多层织构化陶瓷厚膜，包括分别印刷有层状电极的陶瓷面层、至少一层陶瓷内层和陶瓷底层；贯穿所述陶瓷面层和陶瓷内层的第一通孔；贯穿所述陶瓷内层和陶瓷底层的第二通孔；填充所述第一通孔的第一连接电极；以及填充所述第二通孔的第二连接电极；其中第一通孔和第二通孔分别位于所述织构化陶瓷厚膜的相对两侧，所述陶瓷内层上的层状电极具有条状缝隙，所述条状缝隙位于第一通孔和第二通孔之间，且相邻两层陶瓷内层上的条状缝隙不重叠。