发明名称 |
薄層を溶液コーティングするための装置および方法 |
摘要 |
An apparatus and method for solution coating layers onto a substrate of an electronic device. A slot die coater in conjunction with a vacuum assist device is used in priming, coating and cleaning stations to produce thin layers having performance advantages over competing technologies. |
申请公布号 |
JP5876292(B2) |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
JP20110510642 |
申请日期 |
2009.05.19 |
申请人 |
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
チャールズ ディー.ラング;タミ ジャネーン フェアクロス |
分类号 |
B05C11/10;B05C5/02;B05D1/26;B05D3/12;H01L51/50;H05B33/10 |
主分类号 |
B05C11/10 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|