发明名称 薄層を溶液コーティングするための装置および方法
摘要 An apparatus and method for solution coating layers onto a substrate of an electronic device. A slot die coater in conjunction with a vacuum assist device is used in priming, coating and cleaning stations to produce thin layers having performance advantages over competing technologies.
申请公布号 JP5876292(B2) 申请公布日期 2016.03.02
申请号 JP20110510642 申请日期 2009.05.19
申请人 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 チャールズ ディー.ラング;タミ ジャネーン フェアクロス
分类号 B05C11/10;B05C5/02;B05D1/26;B05D3/12;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 B05C11/10
代理机构 代理人
主权项
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