发明名称 半导体装置
摘要 本发明涉及半导体装置。在双极晶体管中,集电极层(3)由n型GaAs层(3a)(Si浓度:约5×10<sup>15</sup>cm<sup>-3</sup>,膜厚:约350nm),p型GaAs层(3b)(C浓度:约4.5×10<sup>15</sup>cm<sup>-3</sup>,膜厚:约100nm,层浓度:4.5×10<sup>10</sup>cm<sup>-2</sup>)以及n型GaAs层(3c)Si浓度:约5×10<sup>15</sup>cm<sup>-3</sup>,膜厚:约500nm)三层的半导体层形成。p型GaAs层(3b)的层浓度被设定为比1×10<sup>11</sup>cm<sup>-2</sup>低。
申请公布号 CN105378904A 申请公布日期 2016.03.02
申请号 CN201480038561.9 申请日期 2014.06.06
申请人 株式会社村田制作所 发明人 梅本康成;黑川敦;西明恒和
分类号 H01L21/331(2006.01)I;H01L29/737(2006.01)I 主分类号 H01L21/331(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 舒艳君;李洋
主权项 一种半导体装置,具有:集电极层;基极层,其形成在上述集电极层上;以及发射极层,其形成在上述基极层上,上述集电极层具备:第一导电型半导体层;和至少一层的第二导电型半导体层,上述第二导电型半导体层的层浓度的总和被设定为比1×10<sup>11</sup>cm<sup>‑2</sup>低。
地址 日本京都府