| 发明名称 | 研磨护圈磨损自动补偿装置以及补偿方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种研磨护圈磨损自动补偿装置以及补偿方法，该研磨护圈磨损自动补偿装置，包括：研磨支架、安装在所述研磨支架底部的研磨头和设置在所述研磨头边缘的研磨护圈，所述研磨护圈与所述研磨支架之间通过升降装置连接。本发明通过设置升降装置，利用升降装置来控制所述研磨护圈下降，进而补偿化学机械研磨过程中研磨护圈的磨损量，成本低廉，控制方便，便于实现，保证了研磨时的研磨压力及平整度的稳定性，从而可以稳定器件的电性及其良率。 | ||
| 申请公布号 | CN105364701A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201510680557.9 | 申请日期 | 2015.10.19 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 王哲;文静;张传民;倪立华 |
| 分类号 | B24B37/34(2012.01)I;B24B37/11(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/34(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种研磨护圈磨损自动补偿装置，包括：研磨支架、安装在所述研磨支架底部的研磨头和设置在所述研磨头边缘的研磨护圈，所述研磨护圈与所述研磨支架之间通过升降装置连接。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||