具有改进的稳定性的CW DUV激光

摘要

一种深紫外DUV连续波CW激光包含：基波CW激光，其经配置以产生具有在约1μm与1.1μm之间的对应波长的基波频率；三次谐波产生器模块，其包含一或多个周期性极化的非线性光学NLO晶体，所述NLO晶体产生三次谐波及任选的二次谐波；及四次谐波产生器模块及五次谐波产生器中的一者。所述四次谐波产生器模块包含经配置以使所述基波频率与所述三次谐波组合以产生四次谐波的以所述基波频率谐振的腔。所述四次谐波产生器模块包含用于使所述基波频率与所述三次谐波组合以产生五次谐波的以所述基波频率谐振的腔或用于使所述二次谐波与所述三次谐波组合以产生所述五次谐波的以所述二次谐波频率谐振的腔。

主权项

一种深紫外DUV连续波CW激光，其包括：基波CW激光，其经配置以产生具有在约1μm与1.1μm之间的对应波长的基波频率；三次谐波产生器模块，其包含至少一个周期性极化的非线性光学NLO晶体以产生三次谐波；四次谐波产生器模块，其包括以所述基波频率谐振的腔，所述四次谐波产生器模块用于使所述基波频率与所述三次谐波组合以产生四次谐波。