一种可快速更换研磨圈的研磨头

摘要

本实用新型公开了一种可快速更换研磨圈的研磨头，通过将连接机构的套管装在研磨头本体内部，套管中的压杆可上下活动，在连接研磨头本体与研磨圈时，只要压下压杆，当压杆下端的倒锥形侧面向下挤压使套管下方的胀块张开与研磨圈内部的凹槽卡口形成挤压时，胀块外侧的倒钩即可勾住研磨圈，实现既可以快速连接研磨头本体和研磨圈，又可以有效避免现有因材料关系或者操作不当引起的螺栓滑丝现象，进而缩短了研磨头的重组时间，提高了重组成功率，从而可提高CMP的有效运行时间和产能，并可降低作业人员的心理压力。

主权项

一种可快速更换研磨圈的研磨头，其特征在于，所述研磨头包括：本体，其近边部轴对称贯通设有若干安装孔；研磨圈，设有与安装孔对应的凹槽，所述凹槽上部设有与安装孔对应的卡口；连接机构，用于连接本体和研磨圈，包括：套管，配合设于安装孔内；压杆，配合穿过套管设置，所述压杆下端具有倒锥形侧面，所述压杆上端具有起出结构；多片活动胀块，与套管下端形成活动连接，并环绕设于凹槽内，所述胀块的内侧面具有与压杆下端倒锥形侧面相对应的斜面，其外侧面具有钩形突起，所述胀块在所述压杆压下时受挤压向外胀开，带动其钩形突起向上顶住凹槽卡口。