玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置

摘要

包括使用内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成的处理装置，处理含有因还原反应而放出氧的澄清剂的熔融玻璃的工序。另外，在处理熔融玻璃的工序中，在由处理装置的内壁和熔融玻璃的表面形成的气相空间中，通过调整从熔融玻璃放出的氧的量而控制气相空间的氧浓度，从而抑制铂族金属的挥发。另外，在处理装置的内部，以气泡放出量最大位置和熔融玻璃在熔融玻璃的流动方向的温度分布的最高温度位置、在熔融玻璃的流动方向上分开的方式调整气泡放出量最大位置，其中在气泡放出量最大位置，从熔融玻璃的表面放出至所述气相空间的气泡的放出量为最大。

主权项

一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：使用处理装置处理熔融玻璃的工序，所述处理装置的内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，所述熔融玻璃含有因还原反应而放出氧的澄清剂，在处理所述熔融玻璃的工序中，在由所述处理装置的内壁和所述熔融玻璃的表面所形成的气相空间中，通过调整从所述熔融玻璃放出的氧的量而控制所述气相空间的氧浓度，从而抑制所述铂族金属的挥发。