光偏折检测模块及使用其检测及误差校正的方法

摘要

本发明关于一种光偏折检测模块，包含一检测载台、一面光源、至少两个扫描摄影机及一矫正标准面。检测载台用以承载待测物，面光源设置于检测载台上方，提供一平面光朝检测载台照射。至少两个扫描摄影机设置于面光源的相对侧。矫正标准面邻设于检测载台。其中，当面光源朝检测载台照射平面光后，平面光将会被待测物的表面及矫正标准面反射，至少两个扫描摄影机在接收被待测物的表面及矫正标准面所反射的平面光后，适于由一处理器进行一数值分析，以获得相关检测数据并进行误差校正作业。

主权项

一种光偏折检测模块，用以进行一待测物的一表面的检测及误差校正作业，包含：一检测载台，用以承载该待测物；一面光源，设置于该检测载台上方，提供一平面光朝该检测载台照射；至少两个扫描摄影机，设置于该面光源的相对侧；以及一矫正标准面，邻设于该检测载台；其中，当该面光源朝该检测载台照射该平面光后，该平面光将会被该待测物的该表面及该矫正标准面反射，该至少两个扫描摄影机在接收被该待测物的该表面及该矫正标准面所反射的该平面光后，适于由一处理器进行一数值分析，以获得相关检测数据并进行误差校正作业。