一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的方法及装置

摘要

本发明涉及一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的方法及装置，通过分隔板把炉膛沿竖直方向分割成多个相对独立的温区，每个温区独立加热、独立测温、独立控制，通过不同温区的温度控制或功率控制实现炉膛在竖直方向上呈现一定的温度梯度或功率梯度，在坩埚、发热体、晶体不动的情况下，通过对不同温区的温度控制及温场梯度的不断移动或加热功率控制及功率梯度的不断移动，满足晶体长晶界面不断移动所需要的温度梯度，通过多温区联动控温实现原料自动加热、自动接种和放肩、自动长晶，并实现长晶界面的模拟可图示化。本装置结构简单，方便实用。

主权项

一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的方法，其特征在于：采用电阻式发热体水平布置在顶端开口的扁平状坩埚的两侧，通过分隔板把炉膛沿竖直方向分割成多个相对独立的温区，每个温区独立加热、独立测温、独立控制，通过不同温区的温度或加热功率的控制实现炉膛在竖直方向上呈温度或功率梯度变化，在坩埚、发热体、晶体固定不动的情况下，通过对不同温区的温度控制及温场梯度的不断移动或加热功率控制及功率梯度的不断移动，满足晶体长晶界面不断移动调整为所需要的温度梯度，通过多温区联动控温实现原料自动加热、自动接种和放肩、自动长晶。