发明名称 |
薄膜晶体管基板及其制造方法 |
摘要 |
本发明揭露一种薄膜晶体管基板及其制备方法。薄膜晶体管基板包含显示区域和非显示区域。非显示区域包含信号线、连接线和接触金属,其中连接线为第一图案化金属层,信号线和接触金属为第二图案化金属层。信号线通过栅绝缘层的第一通孔电性连接连接线,连接线通过护层的第二通孔电性连接接触金属。 |
申请公布号 |
CN103094276B |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
CN201210287258.5 |
申请日期 |
2012.08.13 |
申请人 |
元太科技工业股份有限公司 |
发明人 |
唐文忠;舒芳安;蔡耀州;辛哲宏 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国 |
主权项 |
一种薄膜晶体管基板,其特征在于,包含:一基板,包含一显示区域及一非显示区域,其中该非显示区域位于该显示区域的周围;至少一薄膜晶体管,是位于该基板上,且配置于该显示区域内;至少一扫描线,是位于该基板上的一第一图案化金属层,与该至少一薄膜晶体管的至少一栅极电性连接,且配置于该显示区域及该非显示区域内;至少一信号线,是位于一栅绝缘层上的一第二图案化金属层,与该至少一薄膜晶体管的至少一源极或至少一漏极电性连接,且配置于该显示区域及该非显示区域内;以及至少一连接线,是位于该基板上的该第一图案化金属层,且配置于该非显示区域内;其中该栅绝缘层,是至少覆盖部分位于该第一图案化金属层的该至少一扫描线及该至少一连接线,且该至少一连接线与该至少一信号线于该非显示区域内,是以位于该栅绝缘层的至少一第一通孔电性连接,并且其中位于该非显示区域内具有至少一接触金属,该至少一接触金属与该至少一连接线是以位于该栅绝缘层中的至少一第二通孔电性连接。 |
地址 |
中国台湾新竹市科学工业园区力行一路3号 |