双流体喷嘴、基板液处理装置和基板液处理方法

摘要

本发明提供双流体喷嘴、基板液处理装置和基板液处理方法。该双流体喷嘴能够均匀地喷雾小直径的处理液的液滴。在本发明中，在朝向被处理体喷雾通过使从液体喷射部（48）喷射的处理液与从气体喷射口（52）喷射的气体混合而生成的处理液的液滴的双流体喷嘴（34）、使用了该双流体喷嘴（34）的基板液处理装置（1）及基板液处理方法中，液体喷射部（48）使相对于圆周中心部朝向外侧方向喷射处理液的多个液体喷射口（47）配置在气体喷射口（52）的内侧的同一圆周上。

主权项

一种双流体喷嘴，其用于朝向被处理体喷雾通过使从液体喷射部喷射的处理液与从气体喷射口喷射的气体混合而生成的处理液的液滴，其特征在于，上述液体喷射部由配置在上述气体喷射口的内侧的同一圆周上的多个液体喷射口构成，上述多个液体喷射口相对于圆周中心部朝向外侧方向喷射处理液，将上述多个液体喷射口中的相邻的液体喷射口的间隔设为使从各液体喷射口喷射的处理液彼此不会接触的间隔，以使得从各液体喷射口喷射的处理液呈细条状，并在上述液体喷射部和上述气体喷射口的下方通过该细条状的处理液与上述气体碰撞来形成上述处理液的液滴。