一种单面刻蚀带液传动滚轮

摘要

本实用新型涉及太阳能电池片制造设备领域，公开了一种单面刻蚀带液传动滚轮，包括多个滚轮，每个所述滚轮的表面设有间隔分布的沟槽区，相邻的沟槽区之间具有凹陷区，所述沟槽区和所述凹陷区均环绕所述滚轮一周设置，且所述沟槽区外径大于所述凹陷区外径，所述沟槽区上分布有一个或多个用于容纳化学药液的沟槽，所述沟槽环绕所述沟槽区一周设置，多个所述滚轮平行设置形成一排，且一排所述滚轮上的沟槽区在传送方向上不全都在同一直线上；本实用新型采用沟槽区和凹陷区设计，有效减少了支撑部位的面积，使硅片下表面均匀的被化学药液吸附，不会产生明显的弯曲，同时，沟槽部位能够增大摩擦力，平稳带动硅片在滚轮上前进。

主权项

一种单面刻蚀带液传动滚轮，其特征在于，包括多个滚轮(1)，每个所述滚轮(1)的表面设有间隔分布的沟槽区(2)，相邻的沟槽区(2)之间具有凹陷区(3)，所述沟槽区(2)和所述凹陷区(3)均环绕所述滚轮(1)一周设置，且所述沟槽区(2)外径大于所述凹陷区(3)外径，所述沟槽区(2)上分布有一个或多个用于容纳化学药液的沟槽(21)，所述沟槽(21)环绕所述沟槽区(2)一周设置，多个所述滚轮(1)平行设置形成一排，且一排所述滚轮(1)上的沟槽区(2)在传送方向上不全都在同一直线上。