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发明名称 成膜装置
摘要
申请公布号 JP5875155(B2) 申请公布日期 2016.03.02
申请号 JP20120167497 申请日期 2012.07.27
申请人 国立大学法人大阪大学;三井造船株式会社 发明人 伊藤 剛仁;森 康成;中島 義晴
分类号 H01L21/205;C23C16/503;H01L21/31;H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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