发明名称 一种制备铜锌锡硫光电薄膜的方法
摘要 一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗基片,然后将CuCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O、ZnCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O和SnCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O放入溶剂中,采用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨和升华硫的可密闭容器中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨和升华硫接触,最后进行干燥,得到铜锌锡硫光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜锌锡硫光电薄膜有较好的连续性和均匀性,这种新工艺容易控制目标产物的成分和结构,为制备高性能的铜锌锡硫光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。
申请公布号 CN103400893B 申请公布日期 2016.03.02
申请号 CN201310301208.2 申请日期 2013.07.09
申请人 山东建筑大学 发明人 李静;刘科高;石璐丹;石磊;禤畅
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种制备铜锌锡硫光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:a.基片的清洗:将大小为2mm×2mm玻璃基片放入体积比三氯甲烷∶乙醇=5∶1的溶液中,超声波清洗30min;再将基片放入体积比丙酮∶蒸馏水=5∶1的溶液中,超声波清洗30min;再在蒸馏水中将基片用超声波振荡30min;将上述得到的基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用;b.将3.41份CuCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O、1.72份ZnCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O、和2.26份SnCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O放入玻璃瓶中,加74.074份乙二醇,利用超声波振荡30min以上,使溶液中的物质均匀混合;c.将上述溶液滴到放置在匀胶机上的玻璃基片上,再启动匀胶机,匀胶机以500转/分转动9秒,使滴上的溶液涂布均匀后,对基片进行烘干后,再次重复滴上前述溶液和旋涂后再烘干,如此重复4次,于是在玻璃基片上得到了一定厚度的前驱体薄膜样品;d.将上述工艺所得的前驱体薄膜样品放入可密闭的容器,并放入89.76份水合联氨和1.36份的升华硫,前驱体薄膜样品置于支架上使其不与联氨接触,将装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至180℃,保温时间60小时,然后冷却到室温取出;e.将步骤d所得产物,进行自然干燥后,即得到铜锌锡硫光电薄膜。
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