一种基于共面波导结合晶体管的太赫兹波快速调制器

摘要

该发明公开了一种基于共面波导结合晶体管的太赫兹波快速调制器，属于电磁功能器件技术领域，重点针对太赫兹波段的快速动态功能器件。通过直波导腔体导入太赫兹波，然后通过探针结构将太赫兹波耦合到本器件的核心部分晶体管结合共面波导(CPW)的结构上，该结构是由三根金属线结合半导体衬底构成的悬置共面波导与共面波导相邻金属传输带之间加入的悬晶体管嵌套人工微结构阵列结构组成。通过控制晶体管阵列的通断改变太赫兹波在CPW中的传输特性，从而实现对太赫兹波的快速幅度调制，最终再通过探针-波导结构将调制后的THz传输出去。具有体积小、加工简单、调制速率快的优点。

主权项

一种基于共面波导结合晶体管的太赫兹波快速调制器，包括：输入直波导、共面波导、输出直波导；所述共面波导包括基板及位于基板上的馈线，馈线包括输入段、传播段、输出段；所述传播段包括：中央馈线、位于中央馈线两侧的谐振馈线；将馈线的输入段设置于输入直波导中，输出段设置于输出直波导中；其特征在于共面波导的中央馈线外接一电压输入线，谐振馈线与中央馈线之间设置至少1个晶体管，通过外接电压控制晶体管的通断。