| 发明名称 | 在母材的表面通过掩模形成凸起的方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种通过掩模形成凸起的方法及装置，更为详细地，涉及一种通过掩模形成凸起的方法，其包括：掩模形成步骤，在母材上形成掩模层；蚀刻步骤，对母材上未形成掩模的区域进行蚀刻；以及掩模去除步骤，去除所述掩模层，并且所述掩模形成步骤包括：至少形成一个以上的小型掩模的步骤，以及至少形成一个以上的大型掩模的步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN105378137A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201380077204.9 | 申请日期 | 2013.09.05 |
| 申请人 | SEP株式会社 | 发明人 | 李相老;罗钟周;朴明渐;金明根;金允焕;徐在亨;岳昕;李智英 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人 | 朱健;陈国军 |
| 主权项 | 一种通过掩模形成凸起的方法，其包括：掩模形成步骤，在母材上形成掩模层；蚀刻步骤，对母材上未形成掩模的区域进行蚀刻；以及掩模去除步骤，去除所述掩模层，所述掩模形成步骤包括：至少形成一个以上的小型掩模的步骤，以及至少形成一个以上的大型掩模的步骤。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道安养市 | ||