| 发明名称 | 用于平面衬底的极性结构的加工设备 | ||
| 摘要 | 一个用于平面衬底的极性结构的加工设备，具有基础模块（8），它具有用于衬底（34）的真空转移室，其中所述真空转移室（4）相对于基础模块（8）偏心地通过位于基础模块（8）部位的、相对于基础模块（8）同心的旋转支承（14）自由地在空间中可摆动地支承，并且在连接位置相对于与旋转支承（14）径向间隔的、围绕基础模块（8）成组布置的工艺站（6）密封连接地定位。 | ||
| 申请公布号 | CN105378905A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201480032194.1 | 申请日期 | 2014.06.05 |
| 申请人 | 阿西斯自动系统股份有限公司 | 发明人 | K.霍伊格勒 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 赵辛;宣力伟 |
| 主权项 | 一个用于平面衬底的极性结构的加工设备，具有中央基础模块（8），它具有用于衬底（34）的真空转移室（4），具有相对于基础模块（8）极性设置的、在圆周侧要连接在与环境分开的真空转移室（4）上的工艺站（6）并且具有被真空转移室（4）容纳的用于衬底（34）的搬运设备（35），其中所述真空转移室（4）相对于基础模块（8）偏心地通过位于基础模块（8）中央部位的、尤其相对于基础模块（8）同心的旋转支承（14）自由地在空间中可摆动地支承并且在连接位置相对于与旋转支承（14）径向间隔的、围绕基础模块（8）成组布置的工艺站（6）密封连接地定位。 | ||
| 地址 | 德国绍恩多夫 | ||