| 摘要 |
광원(1.1), 폴리곤 미러 (2.1)과 프리-스캔 광학기구(3) 과 포스트-스캔 광학기구 (4)를 갖는 스캔 유닛으로 구성되는 스캐닝 장치. 프리-스캔 광학기구 (3)은 광원 (1)로부터 오는 빔 번들(1.1)이 교차 스캔 평면에서 입사각 (α)로 폴리곤 미러 (2.1)에 충돌하는 방식으로 폴리곤 미러 (2.1)의 상류측에 배치되어 있고, 포스트-스캔 광학기구 (4)의 광축은 폴리곤 미러(2.1)의 반사방향에 위치 한다. 스캔 라인(5)에서 광원 (1)의 이미지를 형성할 때 발생하는 사다리꼴 왜곡과 스캔 활 같은 왜곡들은 포스트-스캔 광학기구(4)의 원통형 미러(4.2)가 교차 스캔 평면에서 폴리곤 미러 (2.1)에 수직인 면에 대해 제 1 경사각(β)로 기울어져 있고, 포스트-스캔 광학기구(4)의 두 보정렌즈(4.1.1,4.1.2)중 하나가 거리 (a)만큼 떨어져서 포스트-스캔 광학기구(4)의 광축에 대해 제 2 경사각 (γ)로 기울어져 있는 것으로 최소화 된다. |
