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发明名称 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法
摘要
申请公布号 JP5874491(B2) 申请公布日期 2016.03.02
申请号 JP20120076117 申请日期 2012.03.29
申请人 株式会社大真空 发明人 佐藤 俊介;幸田 直樹
分类号 H03H9/02;H01L23/02;H03H3/02;H03H3/04;H03H9/19;H03H9/215 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
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