发明名称 |
一种用于反应源瓶的试验方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于反应源瓶的试验方法,通过使用一种模拟反应工艺实际过程,具有秤重结构的反应源瓶试验装置,实现对液源的质量变化值、源瓶内的压力、载气流量、试验时间、试验温度等所需关键技术参数进行离线精确采集,通过试验计算可准确得出室温条件下的反应源瓶进气量、液面高度、溶液温度、瓶内压力和液源携带量之间的关系,试验装置结构简单易操作、试验方法准确可靠,适合工厂推广使用。 |
申请公布号 |
CN103710681B |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
CN201410010548.4 |
申请日期 |
2014.01.09 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
苏艳波;兰云峰;任鑫 |
分类号 |
C23C16/448(2006.01)I;G01D21/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/448(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;林彦之 |
主权项 |
一种用于反应源瓶的试验方法,其特征在于,使用一试验装置进行试验,所述试验装置包括源瓶瓶体,安装在瓶体的瓶盖上的进气管、出气管、热偶,还包括一个天平,所述瓶体放置在天平上,所述进气管一端伸入到瓶体中,另一端连接供气装置,所述出气管一端连通瓶体,另一端连接尾气收集装置,所述瓶盖上装有第一压力表和液位传感器,所述出气管上装有第二压力表,所述进气管上装有流量计,所述进气管和出气管上至少有一个装有阀门,所述试验方法依次包括以下步骤:步骤S01:首先,将试验用液源填充到反应源瓶的瓶体中,关闭进气管、出气管上的阀门,使用天平测量此时天平上反应源瓶的质量;步骤S02:然后,打开进气管、出气管上的阀门开始试验,同时,用秒表记录试验时间,用热偶测量瓶体中液源的温度,并在试验过程中记录流量计的载气流量、第一压力表显示的反应源瓶内的压力及第二压力表显示的出气管出口压力;步骤S03:当设定的试验时间到达时,关闭进气管、出气管上的阀门,使用天平测量此时天平上反应源瓶的质量,得到试验前后,瓶体中液源的质量变化值;步骤S04:根据上述步骤中测量得到的液源的质量变化值,计算得出试验过程中液源的物质的量差值;根据载气流量、试验时间、源瓶内的压力、试验温度,计算得出试验过程中产生的混合蒸汽的物质的量;根据试验过程中液源的物质的量差值和试验中产生的混合蒸汽的物质的量,计算得出混合蒸汽中液源的物质的量浓度公式,从而得到混合蒸汽中液源的物质的量浓度与液源的质量变化值、源瓶内的压力、载气流量、试验时间之间的对应关系。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |