薄膜製造方法、薄膜製造装置,申请号JP20110278823-传众专利搜索

发明名称	薄膜製造方法、薄膜製造装置
摘要
申请公布号	JP5875851(B2)	申请公布日期	2016.03.02
申请号	JP20110278823	申请日期	2011.12.20
申请人	株式会社アルバック	发明人	楊一新
分类号	C23C14/24;C23C14/00;H01L51/50;H05B33/10	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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