发明名称 貫通電極の形成方法
摘要
申请公布号 JP5874481(B2) 申请公布日期 2016.03.02
申请号 JP20120065396 申请日期 2012.03.22
申请人 富士通株式会社 发明人 小林 靖志;中田 義弘;押久保 由紀子
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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