| 发明名称 | 物理量传感器、电子设备以及移动体 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种物理量传感器、电子设备以及移动体，该物理量传感器即使在小型化的情况下也具有高灵敏度，该电子设备以及移动体具备该物理量传感器。本发明所涉及的物理量传感器(100)具有：基板(10)；支承部(40)；通过连结部(30、32)而与支承部(40)连接的可动部(20)；与可动部(20)对置并被配置在基板(10)上的固定电极，可动部(20)具有：第一质量部(20a)；质量小于第一质量部(20a)的第二质量部(20b)；被配置在第一质量部(20a)上的第一可动电极(21)；被配置在第二质量部(20b)上的第二可动电极(22)，固定电极由第一固定电极(50)和第二固定电极(52)构成，在将可动部(20)的长度方向上的可动部(20)的长度设为L，将可动部(20)的长度方向上的第二质量部(20b)的长度设为L2时，满足0.2≤L2/L≤0.48的关系。 | ||
| 申请公布号 | CN105371831A | 申请公布日期 | 2016.03.02 |
| 申请号 | CN201510505681.1 | 申请日期 | 2015.08.17 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 田中悟 |
| 分类号 | G01C19/5656(2012.01)I | 主分类号 | G01C19/5656(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 苏萌萌;范文萍 |
| 主权项 | 一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；支承部，其被固定在所述基板上；可动部，其通过连结部而与所述支承部连接，并能够相对于支承部进行摆动；固定电极，其与所述可动部对置并被配置在所述基板上，所述可动部具有：相对于所述连结部而被设置在一侧的第一质量部；相对于所述连结部而被设置在另一侧且质量小于所述第一质量部的第二质量部；被配置在所述第一质量部上的第一可动电极；以及被配置在所述第二质量部上的第二可动电极，所述固定电极由与所述第一质量部对置配置的第一固定电极和与所述第二质量部对置配置的第二固定电极构成，当将所述可动部的长度方向上的所述可动部的长度设为L，将所述可动部的长度方向上的所述第二质量部的长度设为L2时，满足0.2≤L2/L≤0.48的关系。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||