一种耐摩擦磨损抗腐蚀碳基薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种耐摩擦磨损抗腐蚀碳基薄膜的制备方法，选用磁过滤真空阴极电弧设备对真空室中旋转夹上金属材料用高能氩离子轰击，待真空室冷却至室温，用磁分离金属等离子体直流弧蒸发器沉积一定厚度的铬过渡层，接着同时启动磁过滤直流阴极弧和脉冲阴极弧蒸发制备铬掺杂非晶碳膜，并惰性气氛围中选用合适温度和时间做退火处理。本发明制备的薄膜具有硬度大、耐摩擦磨损、抗腐蚀等性能，满足一些特殊环境中使用的金属材料表面防护。

主权项

一种耐摩擦磨损抗腐蚀碳基薄膜的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：第一步：金属材料表面预处理；第二步：预处理后的金属材料表面刻蚀活化；第三步：在活化后的金属材料表面蒸镀一定厚度的铬过渡层；第四步：在铬过渡层上施镀铬掺杂类金刚石碳基薄膜；第五步：将第五步制备的薄膜在惰性气氛中表面退火处理。