测量装置、基板检查装置以及其控制方法

摘要

本发明是无论焊锡表面的光泽度(镜面度)高低，能够高精度测量焊锡表面的三维形状的技术。测量装置具有：图像取得部，取得第一图像和第二图像，所述第一图像是在以互不相同的入射角照射多种颜色的光，焊锡的表面显现与该倾斜角对应的颜色信息的状态下拍摄的，所述第二图像是在投射图案光，焊锡的表面显现与该焊锡的高度对应的图案相位信息的状态下拍摄的；颜色可靠度计算部，针对焊锡的表面上的各点，求出所述第一图像的颜色信息的可靠度；相位可靠度计算部，针对焊锡的表面上的各点求出所述第二图像的相位信息的可靠度；焊锡形状测量部，通过使用颜色信息和相位信息中可靠度高的信息，求出焊锡的表面上的各点的三维信息，生成焊锡的三维形状。

主权项

一种测量装置，用于测量焊锡的三维形状，其特征在于，具有：图像取得部，取得第一图像和第二图像，所述第一图像，是在以互不相同的入射角照射多种颜色的光，从而在焊锡的表面显现与其倾斜角相对应的颜色信息的状态下拍摄的，所述第二图像，是在投射图案光，从而在焊锡的表面显现与该焊锡的高度相对应的图案的相位信息的状态下拍摄的，颜色可靠度计算部，针对焊锡的表面上的各点，求出所述第一图像的颜色信息的可靠度，相位可靠度计算部，针对焊锡的表面上的各点，求出所述第二图像的相位信息的可靠度，焊锡形状测量部，通过使用所述第一图像的颜色信息和所述第二图像的相位信息中可靠度高的一种信息，求出焊锡的表面上的各点的三维信息，来生成焊锡的三维形状。