发明名称 |
改进的振动式陀螺仪 |
摘要 |
一种改进的传感器件,其包括微机械陀螺仪和具有用于生成阻尼控制信号的控制器(87)的反馈回路。频率发生器(84)生成用于驱动模式振动的驱动信号和相对于驱动模式振动处于正交相位的基准信号(892)。对正交基准信号(892)和控制器的阻尼控制信号进行求和。作为结果的换能器控制信号被提供至第二机械谐振器(83)。因此,在检测科里奥利信号之前,已经在感测元件级实现了实际机械正交运动的稳定抵消。 |
申请公布号 |
CN105378430A |
申请公布日期 |
2016.03.02 |
申请号 |
CN201380031158.9 |
申请日期 |
2013.06.25 |
申请人 |
株式会社村田制作所 |
发明人 |
拉塞·阿尔托宁 |
分类号 |
G01C19/5726(2006.01)I;G01C19/5776(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;G01P3/44(2006.01)I;G01C19/5762(2006.01)I |
主分类号 |
G01C19/5726(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
陈炜 |
主权项 |
一种传感器件,其包括微机械陀螺仪,所述陀螺仪包括:第一机械谐振器(82;92;102),其用于驱动模式振动;第二机械谐振器(83;93;103),其与所述第一机械谐振器(82;92;102)耦接,并用于与所述传感器件的转动相对应的感测模式振动;并且所述传感器件还包括:反馈回路,其包括用于生成反馈信号的控制器(87;97;107)和机电换能器,该换能器用于根据输入控制信号对所述第二机械谐振器(83;93;103)的感测模式振动起相反作用;频率发生器(84;94;104),其用于生成用于驱动模式振动的驱动信号和相对于所述驱动模式振动处于正交相位的基准信号(892;992;1092);求和元件(894;994;1094),其用于对正交的所述基准信号(892;992;1092)和所述控制器(87;97;107)的输出信号进行求和,以将求和结果作为反馈信号反馈至所述第二机械谐振器(83;93;103)。 |
地址 |
日本京都府 |