搬运装置

摘要

本发明提供一种搬运装置，其能够适当地吸引保持弯曲的晶片，能够易于应对直径不同的晶片。搬运装置(6)将收纳于盒(8a、8b)中的晶片(11)从盒中搬出或将晶片搬入盒中，其具有：吸引保持晶片的保持部(42)；以及使保持部移动的驱动部(44)，保持部具有：保持部主体(46)；在保持部主体的正面(46c)开口且彼此远离的多个吸引口(48a、48b)；与吸引源(52)连接并对吸引口传递负压的负压传递路(50)；以及配设于吸引口的由弹性材料构成的吸附盘(54)，多个吸引口被设置为在晶片的径向上彼此远离，吸附盘构成为选择性地配设于期望的吸引口。

主权项

一种搬运装置，其将收纳于盒中的晶片从该盒中搬出，或将该晶片搬入到该盒中，该搬运装置的特征在于，具有：保持部，其吸引保持该晶片；以及驱动部，其使该保持部进行移动，该保持部具有：保持部主体；多个吸引口，它们在该保持部主体的正面开口且彼此远离；负压传递路，其与吸引源连接而对该吸引口传递负压；以及吸附盘，其配设于该吸引口且由弹性材料构成，该多个吸引口被设置为在该晶片的径向上远离，该吸附盘选择性地配设于期望的该吸引口处。